随着微波通讯、卫星发送等无线通讯技术的广泛应用，以及雷达、导弹诱导、遥感和射电望远镜在科学研究中的重要作用，传感器技术也迎来了前所未有的发展机遇。1 微型化（Micro）为了适应信息时代日益增长的信息量和处理能力要求，对传感器性能指标提出了更高的标准，包括精确性、可靠性和灵敏度。同时，操作友好性的需求也被强调，因此传感器必须配备标准输出模式。而传统的大体积弱功能传感器已逐渐被各种不同类型的高性能微型传感器所取代，这些微型传感器主要由硅材料构成，有体积小、重量轻、高反应速度、高灵敏度及成本低等优点。

1.1 由计算机辅助设计（CAD）技术和微机电系统（MEMS）技术引发的传感器微型化

目前几乎所有的传感器都在从结构化生产设计向基于计算机辅助设计（CAD）的模拟式工程化设计转变。这一转变不仅提高了设计效率，还使得我们能够在较短时间内设计出低成本、高性能的新型系统。这种巨大的转变推动了传感器系统以更快速度向着满足科技发展需求的方向发展。

对于微机电系统（MEMS）的研究始于20世纪60年代，其研究范畴涉及材料科学、机械控制、加工与封装工艺、电子技术以及传送/执行等多种学科，是一个极具前景的新兴领域。MEMS核心是研究如何巧妙结合微电子与微机械加工与封装技术，以制造出体积小巧但功能强大的新型系统。在几十年的发展中，尤其是在最近十多年的深入探索下，MEMS已经显示出巨大的生命力。此项有效采用将信息系统的小巧化、大幅提高智能化水平到一个新的高度。在当前技术水平下，我们可以通过micro切削加工技术生产具有不同层次3D结构，从而制造出非常小且精密的小型敏应元件，如毒气检测仪或离子计这些以硅为主要构成材料的事物都能装载上极好的敏应元件[1][2]。

目前，这类元件已经作为主流的小型探测设备，被广泛应用于不同的领域中。

1.2 微型传感器应用现状

根据当前科技发展现状，可见，在航空航天领域、中长距离探测行业以及医疗保健自动化工业中，小尺寸但大影响力的信号探测系统正逐步成为不可或缺的一部分；进入实用阶段并且正在实际使用中的小尺寸探测设备，可以用于测量各种物理量如位移速度/加速度压力应力应变声光电磁热PH值离子浓度生物分子浓度等等。

2 智能化（Smart）

智能化单独是20世纪80年代末出现的一种涉及多学科融合创新产品。此类产品自问世以来便受到科研界普遍关注尤其是在分布式实时监控网络监控多信号监控方面一直颇受欢迎产生了较大影响。

2.1 智能化单独特点

智能单独是指那些带有微处理芯片，不只是能够执行数据处理存储，而且还能够进行逻辑思考结论判断的事情。这类产品就相当于是把一台电脑与一个普通感觉装置结合起来一样，它们通常包括主感觉装置辅助感觉装置及硬件组成部分如主CPU储存空间输入输出接口软件程序等。例如智能压力检测仪，其中包含两个最基本部件：压力检测部件用于捕捉物理参数环境温度跟踪并对数据结果做调整；其他辅助部件则负责校正因温度变化而引起误差；最后硬盘则除了对弱输出信号进行放大整理之外，还执行通信工作让它成为一种完美工具来实现所有目标，并比普通工具要准确价格便宜效率更佳。相比于一般性的检测仪表，它不仅可以探测一种物理属性，其调节方式依然需要连接一些模拟电路完成，而这套集成了复杂处理算法样本数据库软件滤波程序的人工智能分析软件完全超越这些简单方法提供更加全面的解决方案因为它不只记录数值还有错误情况分析整个过程提供给用户预先设定的报告书格式帮助他们快速理解非线性行为进行进一步补偿调整此外还可以利用编程手段改进任何条件下的正确性甚至扩展功能范围至他处某些情形下可能发生故障时它们会发出警报并诊断故障位置现在人们知道每个内部组成要如何找到问题源头解决问题的情况下维护再正常情况下的运行状态有利地保持关键设备安全可靠运行由于这一系列优势使得这是一种非常特别而又令人惊叹的手段去测试世界上的各个角落即使它不是神奇却仍旧拥有许多魔法般力量让人敬佩无疑这样我们相信这个未来看似遥不可及的地方其实并不远真的是近在咫尺就像那突如其来的风暴突然间夸张地降临我们的生活改变一切一样它们既不会阻止你的脚步也不会打扰你，但有一天你会发现自己无法回头，因为它们已经深深地融入到了你的生活之中简直就是你无法想象没有它们的一个世界。但愿这些记忆永远温暖地伴随着我们走过每一步，让我们一起享受这份属于自己的乐趣吧！